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研磨加工工件-超精密研磨拋光的主要技術(shù)介紹
更新時(shí)間:2023-05-18
本文圍繞研磨、加工、工件、流體、作用、進(jìn)行、拋光、機(jī)械、利用、化學(xué)反應(yīng)等有關(guān)詞展開(kāi)編寫(xiě)的關(guān)于超精密研磨拋光的主要技術(shù)介紹的研磨加工工件相關(guān)文章,僅供大家了解學(xué)習(xí)。
超精密研磨拋光主要技術(shù)介紹
1.在液體中研磨
將超精密拋光磨具面和工件浸泡在含有磨粒的磨料中,借助水波效應(yīng),在充足的加工液中用游離的細(xì)小磨粒進(jìn)行磨削,對(duì)磨粒產(chǎn)生的熱量有極好的冷卻作用,對(duì)磨削過(guò)程中的小沖擊有緩沖作用。
2.機(jī)械化學(xué)研磨
化學(xué)研磨是通過(guò)化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行的機(jī)械研磨。有濕磨和干磨兩種。
濕法機(jī)械化學(xué)研磨用于硅晶片的zui終精加工。該研磨劑含有0.01um的二氧化硅磨粒,在弱堿性膠體溶液中,與之配套的磨具是涂有精細(xì)結(jié)構(gòu)的軟質(zhì)發(fā)泡聚氨基酸的人造革。
干態(tài)機(jī)械化學(xué)研磨是一種利用工件和磨粒之間化學(xué)反應(yīng)的研磨方法。干燥條件下小范圍的化學(xué)反應(yīng)有利于加工,因?yàn)榱綖?.01—0.02的二氧化硅磨?;瘜W(xué)活性強(qiáng),研磨量大。
3.磁流體精密研磨
磁流體是在液相中分散成膠體大小的鐵磁粉(
磨料懸浮加工是一種利用懸浮在液體中的磨粒進(jìn)行可控精密磨削的加工工藝。磨削裝置由磨削加工部分、驅(qū)動(dòng)部分和電磁部分組成。磨料控制加工是預(yù)先將磨粒放入磨具的孔中,通過(guò)磁流體的作用將磨料逐漸輸送到磨盤(pán)上。封閉式磁流體處理是通過(guò)橡膠板將磨粒從磁流體中分離出來(lái)。
4.磁力研磨
利用磁場(chǎng),磁極之間的磁性磨料形成刷子一樣的磨料,吸附在磁極的工作面上。在磨料與工件的相對(duì)運(yùn)動(dòng)下,實(shí)現(xiàn)工件表面的磨削效果。這種加工方法不僅可以磨削圓周面、平面和邊緣,還可以磨削凹凸不平的復(fù)雜曲面。
5.軟磨粒的機(jī)械拋光(彈性發(fā)加工)
小切削可以達(dá)到原子級(jí),直到切掉一層原子,被加工表面的晶格不會(huì)變形,從而獲得表面粗糙度極小、材料極其純凈的表面。加工原理的實(shí)質(zhì)是磨粒擴(kuò)散和微小顆粒加速?gòu)椥猿龅牧W(xué)效應(yīng)的綜合作用。靜電粉末粒子在真空、氣流或水流中加速。
6.化學(xué)機(jī)械拋光
化學(xué)拋光是一種利用研磨液的腐蝕和磨粒的機(jī)械作用的拋光方法。蝕刻液,如氧化鐵和硫酸或鹽酸的水溶液、錳鋅鐵氧體磨粒和鹽酸的水溶液等。
7.水合拋光
它是利用工件界面上的水化化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行磨削的方法。其主要特點(diǎn)是不使用磨粒和加工液,加工裝置類(lèi)似于目前使用的磨盤(pán)或拋光機(jī),只是在水蒸氣環(huán)境下加工。
機(jī)理:在拋光過(guò)程中,兩個(gè)物體在接觸區(qū)域產(chǎn)生相對(duì)摩擦和高溫高壓,因此工件表面的原子或分子被激活。利用水蒸氣分子或過(guò)熱水作用于界面,在界面上形成一層水化化學(xué)反應(yīng)層,然后在一個(gè)大氣壓的水蒸氣環(huán)境中,借助過(guò)熱水蒸氣或外部摩擦,將這一層水化層從工件表面分離去除,從而實(shí)現(xiàn)鏡面加工。
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